【エーエスエムエル】
ASML とは？
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💡 チップを作る会社へ、回路を光で転写する装置を届ける
半導体の回路パターンを光で転写する露光装置を開発・供給するオランダ企業。EUVとDUVの装置を扱い、EUV露光装置の唯一の供給企業として先端チップ製造で重要な役割を担う。
📌 このページのポイント
ひよこ ASMLってチップを作る会社なの？
ペンギン先生 チップを作る企業へ、製造に使う露光装置を供給する会社だよ。オランダに本社があり、光を使ってウェハー上に細かな回路パターンを転写する技術を扱っているんだ。
ひよこ なぜ先端チップの話でよく出てくるの？
ひよこ チップのすべての層をEUVで作るの？
ペンギン先生 違うよ。EUVを使うチップでも、ほかの層はDUVという深紫外線の装置で露光する。ASMLは両方を供給していて、DUVが単に不要になったわけではないんだ。
ひよこ 装置の部品も全部ASMLが作っているの？
ペンギン先生 多くの協力企業と技術を組み合わせているよ。例えば光源のCymerは2013年にASMLが買収し、光学系のCarl Zeissとは1986年から提携している。1社だけで全部品を作るという意味ではないんだ。
ひよこ High-NA EUVって何が変わったの？
ペンギン先生 光学系の開口数NAを、従来のNXEの0.33からEXEでは0.55へ高めた世代だよ。さらに細かなパターンの転写を目指す装置で、最初の装置の出荷は2023年。出荷開始とチップの量産開始は区別して考えよう。
まとめ：ざっくりこれだけ覚えればOK！
「ASML」って出てきたら「半導体の回路を転写する露光装置を供給するオランダ企業」と思えればだいたいOK！
📖 おまけ：英語の意味
「ASM Lithography」 ＝ 設立当初の社名
💬 1984年にPhilipsとASMIが設立した際の名前だよ。現在はASMLという社名で知られているんだ