【いーゆーぶい】
EUV（極端紫外線リソグラフィ） とは？
💡 光の限界を超えた、ナノの世界の彫刻刀
📌 このページのポイント
ひよこ EUVってなんで今までの光じゃダメだったの？
ペンギン先生 光には「回折限界」っていう物理的な制約があって、波長より小さいものは描けないんだ。従来のArFレーザーは波長193nmだったけど、7nm以下の回路を作るにはそれじゃ太すぎる。EUVは波長13.5nmだから、もっと細い線が描けるんだよ
ひよこ 13.5nmってどのくらい小さいの？
ペンギン先生 髪の毛の太さが約8万nmだから、その約6000分の1だね。もはや原子数十個分の世界。この短い波長の光を安定して出すために、スズの液滴にCO2レーザーを当ててプラズマを作るという、とんでもない仕組みを使っているんだよ
ひよこ おもしろい！"ASML社しか作れないってすごいね…"
ペンギン先生 EUV露光装置は10万点以上の部品からなる超精密機械で、1台の重さが約180トン、価格は約400億円。開発には20年以上かかっていて、光学系はドイツのツァイス、光源は米サイマーなど、世界中の技術を結集しているんだ。だからASML以外には作れないんだよ
ひよこ もしEUVがなかったらどうなるの？
ペンギン先生 従来の露光でも「マルチパターニング」という手法で7nm程度までは作れるけど、工程が何倍にも増えてコストが跳ね上がるんだ。EUVなら1回の露光で済む工程を、4回以上繰り返す必要がある。最先端スマホやAIチップが今の価格で買えるのはEUVのおかげだね
ひよこ 次世代のHigh-NA EUVってさらにすごいの？
ペンギン先生 ひよこ 半導体の進化って装置の進化でもあるんだね！
ペンギン先生 まさにその通り。ムーアの法則を支えてきたのは、こういった露光技術の革新なんだ。EUVは物理学・光学・材料科学・精密機械工学の粋を集めた人類の傑作と言っても過言じゃないよ
まとめ：ざっくりこれだけ覚えればOK！
「EUV」って出てきたら「めちゃくちゃ短い波長の光で超微細な半導体回路を作る技術」と思えればだいたいOK！
📖 おまけ：英語の意味
「Extreme Ultraviolet Lithography」 ＝ 極端紫外線リソグラフィ
💬 Extremeは「極端な」、Ultravioletは「紫外線」、Lithographyは「石版印刷」が語源。石に絵を描くように、ウェハーに回路を描く技術だよ